Suministro e instalación de un equipo de grabado seco para nanoestructuras y capas delgadas de silicio y derivados de silicio, destinado al Instituto de Microelectrónica de Barcelona, de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas, M.P.

Detalle del contrato público, su órgano contratante, adjudicatario y vínculos documentados.