Suministro e instalación de tres sistemas de hornos tubulares horizontales para recocidos de capas, crecimiento por oxidación térmica y depósito por LPCVD necesarios para procesar obleas de hasta 150 milímetros, destinados al Instituto de Microelectrónica de Barcelona.

Detalle del contrato público, su órgano contratante, adjudicatario y vínculos documentados.