Servicio de mantenimiento preventivo/correctivo de equipos de microfabricación del área de Procesos Térmicos ubicados en la Sala Blanca del Instituto de Microelectrónica de Barcelona: - Equipo Applied Materials Precision 5000 CVD. - Equipo Oxford Plasmalab 800 Plus PECVD. - Equipo AS-Master 2000 RTCVD.

Expediente de contratación: presupuesto de licitación y adjudicación cuando consta. Ninguno de esos importes acredita el pago.