Suministro, instalación y puesta en marcha de una plataforma para el procesamiento químico húmedo para aplicaciones en procesos de ataque, limpieza y revelado, destinado al Instituto de Micro y Nanotecnología de la Agencia Estatal Consejo Superior de Investigaciones Científicas (IMN-CSIC).

Expediente de contratación: presupuesto de licitación y adjudicación cuando consta. Ninguno de esos importes acredita el pago.